1、高純鈦靶
裝飾用純鈦靶是一種用于物理氣相沉積（PVD）工藝的高純度鈦材料，通常以塊狀或板狀形式存在。在真空環境下通過濺射形成薄膜，賦予基材金屬光澤、耐磨、耐腐蝕等裝飾性功能，廣泛應用于高端裝飾領域。其純度通常要求≥99.95%（3N5級及以上）。
2、性能特點
高純度：雜質含量極低（如Fe、O等），確保濺射膜層色澤純凈（如銀白色或氮化后的金色/黑色）。
致密均勻：通過粉末冶金或熔煉工藝實現高密度（≥4.5 g/cm3），減少濺射時的顆粒飛濺。
耐腐蝕性：鈦的天然鈍化膜使其在酸堿性環境中表現優異，延長涂層壽命。
環保性：無毒無害，符合RoHS標準，適用于食品接觸或醫療配件。
高溫穩定性：熔點高達1668°C，適合高溫濺射工藝。
3、材質與制造
材質：純鈦（CP-Ti，Grade 1或2），純度≥99.95%，常見形態為鍛造或軋制靶材。
工藝：真空電弧熔煉（VAR）→ 鍛造/軋制 → 機械加工（車削、研磨）→ 清洗封裝。
4、執行標準
國際標準：ASTM B348（鈦材通用）、ASTM F67（純鈦外科植入級參考）。
行業規范：SEMI F47（半導體靶材參考，部分指標適用）。
國內標準：GB/T 3620.1（鈦及鈦合金牌號）、GB/T 5193（雜質檢測方法）。
5、應用領域
消費電子：手機邊框、智能手表表殼（如鈦金屬拉絲效果）。
珠寶與鐘表：鈦鍍層首飾、表帶（輕量化+抗過敏）。
汽車裝飾：內飾鍍鉻替代（環保且耐刮）。
建筑與家居：衛浴五金、燈具表面（防指紋、抗變色）。
工業設計：眼鏡架、高爾夫球桿裝飾涂層。
6、與其他靶材的異同
| 特性 | 純鈦靶 | 鈦合金靶（如Ti6Al4V） | 鎳靶 | 鋯靶 |
| 成分 | ≥99.95% Ti | Ti+Al/V等合金元素 | ≥99.9% Ni | ≥99.5% Zr |
| 膜層顏色 | 銀白/氮化后多彩 | 偏灰暗，色澤單一 | 銀白，易氧化變黃 | 深灰/黑色（需反應濺射） |
| 耐腐蝕性 | 極強（鈍化膜） | 中等（合金元素影響） | 一般（易被酸堿侵蝕） | 優異（耐高溫氧化） |
| 應用場景 | 高端裝飾、醫療 | 耐磨工業部件 | 電子導電層、磁性薄膜 | 深色涂層、核工業 |
| 成本 | 較高 | 中等 | 低 | 高 |
7、選購方法與注意事項
選購方法
純度驗證：要求供應商提供ICP-MS檢測報告，重點查看O、Fe、C含量。
尺寸匹配：確認靶材厚度/直徑與設備腔體兼容（如Φ200mm×6mm）。
供應商資質：優先選擇通過ISO 9001認證，且具PVD行業服務經驗的廠商。
性價比：對比不同工藝（鍛造vs.燒結）靶材的壽命（如3000小時以上為優）。
注意事項
儲存：真空包裝存放于干燥箱（濕度<40%），避免表面氧化生成TiO?。
運輸：泡沫+木箱防震，避免邊緣崩缺。
使用優化：
預濺射時間：10-15分鐘去除表面污染物。
濺射功率：控制≤10W/cm2，防止局部過熱導致裂紋。
維護：定期用無水乙醇清潔靶面，使用后翻轉靶材以均勻消耗。
