濺射鈦靶材在使用過程中有較高的要求，不僅要求純度、尺寸，甚至還有晶粒尺寸均勻性等，這些高要求使得我們在使用濺射靶材時更加要注意。下面就讓我們去了解下濺射靶材在使用過程中的幾點注意事項：

1、濺射準備

保持真空腔體尤其是濺射系統潔凈是非常重要的。任何由潤滑油和灰塵以及前期鍍膜所形成的殘留物會收集水氣及其他污染物，直接影響真空度獲得和增加成膜失敗的可能性。短路或靶材起弧，成膜表面粗糙及化學雜質含量超標經常是由于不潔凈的濺射室、濺射槍和靶材引起的。 

為保持鍍膜的成分性，濺射氣體(氬氣或氧氣)必須清潔并干燥，濺鍍腔內裝入基材后便需將空氣抽出，達到工藝所要求的真空度。

二、靶材清潔

靶材清潔的目的是去除靶材表面可能存在的灰塵或污垢。

三、靶材安裝

靶材安裝過程中重要的注意事項是定要確保在靶材和濺射槍冷卻壁之間建立很好的導熱連接。如果用冷卻壁的翹曲程度嚴重或背板翹曲嚴重會造成靶材安裝時發生開裂或彎曲，背靶到靶材的導熱性能就會受到很大的影響，導致在濺射過程中熱量無法散發終會造成靶材開裂或脫靶。

四、短路及密封性檢查

靶材完成安裝后需要對整個陰進行短路檢查及密封性檢查，建議通過使用電阻儀搖表的方式對陰是否存在短路進行判斷。在確定陰不存在短路后，可以進行檢漏檢查，將水通入陰確定是否存在漏水現象。

五、靶材預濺射

靶材預濺射建議采用純氬氣進行濺射，可以起到清潔靶材表面的作用。靶材進行預濺射時建議慢慢加大濺射功率，陶瓷類靶材的功率加大速率建議為1.5W小時/平方厘米。金屬類靶材的預濺射速度可以比陶瓷靶材塊，個合理的功率加大速率為1.5W小時/平方厘米。

相信大家知道了濺射鈦靶材的這幾點使用事項之后，對濺射靶材的使用也定有了新的認知，希望文章會對大家有所幫助！

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