薄膜晶體管液晶顯示面板(TFT-LCD)是當前的主流平面顯示技術，而金屬濺射靶材是制造TFT-LCD過程中最關鍵的材料之一。薄膜晶體管陣列的制作原理，是在真空條件下，利用離子束流去轟擊固體，使固體表面的原子電離后沉積在玻璃基板上，經過反復多次的“沉積+刻蝕”，一層層(一般為7-12層)地堆積制作出薄膜晶體管陣列。這種被轟擊的固體，即用濺射法沉積薄膜的原材料,就被稱作濺射靶材[2-3]。

1、靶材分類

用于制作薄膜晶體管液晶顯示面板的金屬靶材，以鋁靶、銅靶、鉬靶和鉬鈮合金靶為主，部分平板顯示企業也會用到鈦靶、鉭靶、鈮靶、鉻靶以及銀靶等。但由于各家企業所采用的濺射工藝不同，其所選的濺射靶材也有區別，例如，京東方用銅靶、鋁靶、鉬靶和鉬鈮靶，韓國三星用鉭靶、鈦靶，但不用鉬鈮靶，中電熊貓用鈦靶，但不用鉬靶、鉭靶等。本文主要以鋁靶、銅靶、鉬靶以及鉬鈮合金靶為主要研究討論對象。

2、供應格局

(1)鋁靶:目前國內液晶顯示行業用鋁靶材主要被日資企業主導。

外企方面:愛發科電子材料(蘇州)有限公司大約占據國內50%左右的市場份額。其次，住友化學也占有一部分市場份額。

國產方面:江豐電子從2013年左右開始介入鋁靶材，目前已大批量供貨，是國產化鋁靶材的龍頭企業。另外，南山鋁業、新疆眾和等企業也具備高純鋁的生產能力。

(2)銅靶:從濺射工藝的發展趨勢上來講，對銅靶材的需求比例一直在逐步增加，加之，近幾年國內液晶顯示行業的市場規模一直在不斷擴大，因此，平板顯示行業對銅靶材的需求量將繼續呈上升趨勢。

外企方面:愛發科電子材料(蘇州)有限公司幾乎壟斷著國內銅靶材市場,市場占有率在80%以上，且該公司近幾年營收的增加額，主要來自于銅靶材銷量的增加。

國產方面:有研新材具備高純銅原料生產能力，但沒有液晶顯示行業用的條形靶材生產線，目前主要致力于半導體行業用圓形靶材生產;洛銅集團具備高純銅生產能力但不生產靶材，且高純銅原料價格和進口原料相比，在價格方面無明顯競爭優勢;江豐電子引進海外高端人才，致力于開發高純銅原料和銅靶材，即將批量生產。

(3)鉬靶:鉬靶具體又分為條靶、寬靶和管靶3種，其中，4.5代、5.5代和6代線一般使用寬幅鉬靶，而8.5代及以上世代線用使用組合條靶或管靶。

組合條靶:

外企方面:國外的奧地利攀時、德國世泰科、日本愛發科等企業已基本退出了這部分市場。

國產方面:國內鉬靶材企業主要集中在洛陽地區,其中,隆華節能下屬的洛陽高新四豐電子材料有限公司占據了國內60%多的市場份額，另外，洛陽高科鉬鎢材料有限公司占據了國內大約10%左右的市場份額。

寬幅鉬靶:

外企方面:國外的攀石、世泰科等企業基本壟斷著國內寬幅鉬靶材市場。

國產方面:截止2017年底，國產化的寬幅鉬靶材尚未在液晶顯示面板生產中獲得實際應用。但國內多家企業正在積極試制和驗證,預計2018年應該能夠實現國產化應用。

其中，洛陽高新四豐電子材料有限公司已于2017年3月31日召開寬靶技術鑒定會，但尚未在下游企業取得正式批量應用;西安格美金屬材料有限公司也在積極研制寬幅靶材,并大力拓展下游企業應用;阿石創和金鉬股份這兩家上市公司利用各自在寬幅靶材軋制和靶材加工及銷售方面的優勢，開展緊密合作，金鉬股份向阿石創銷售寬幅鉬靶坯和條形鉬靶坯(條形靶坯由寬幅靶坯切割而成),阿石創負責后續綁定等工序和成品銷售工作。

鉬管靶:

8.5代線[4]用的鉬管靶，每套包含12根，每根單重約為300kg，每套重量約為3600kg。由于鉬管靶的實際利用率約為70%，因此，每套鉬管靶的成膜重量約為2500kg。每條8.5代線對鉬管靶的需求量約為30x10³kg/年。

另外，鉬管靶的供應商，除了要通過其面板生產企業的認證外,還要通過鉬管靶濺射設備生產商美國AKT公司的認證,并且要被收取鉬管靶售價約5%的認證費。目前,國內采用管靶濺射設備的生產線只有1條,而且業內普遍認為鉬管靶的發展空間并不大。

(4)鉬鈮10合金靶:

鉬鈮10合金作為薄膜晶體管的擴散阻隔層鉬-鋁-鉬的重要替代材料,市場需求前景較好。但由于鉬原子與鈮原子的互擴散系數差別很大，通過高溫燒結后鈮顆粒的位置會產生大孔洞，燒結致密度難以提高，此外，鉬原子與鈮原子充分擴散后會形成很強的固溶強化，導致其壓延性能惡化。

西部金屬材料股份有限公司下屬西安瑞福萊鎢鉬有限公司,和愛發科電子材料(蘇州)有限公司合作,經多次試驗攻關,已于2017年成功軋制出了氧含量小于1000x10-6,致密度達99.3%的Mo-Nb合金靶坯。

3、需求規模

8.5代液晶顯示面板生產線所使用的條形靶材,1套包含12塊條靶,每塊條靶的尺寸約為2650 mmx210mmx18mm,表1列出了1條8.5代線每年大致消耗的靶材重量。

表1 1條8.5代線每年靶材的大致消耗量

截止2017年底，國內已投產的8.5代線中，除了京東方的4條以外，華星光電有2條，中電熊貓、LG有1條、三星和龍飛各有1條，合計共有10條8.5代線，這10條8.5代線占據了國內約80%的產能，因此，本文就以12條8.5代線的靶材消耗量來估算全國TFT-LCD行業用靶材消耗量。

4、認證周期

液晶面板行業對濺射靶材的品質和穩定性要求很高,對供應商資格認證壁壘較高,認證周期很長。

一般情況下,在1條8.5代生產線上完成靶材的認證,大約需要1年時間,如果一家用戶單位擁有多條生產線的,則必須在上一條生產線完成認證后,才能開始在下一條生產線上開展認證。因此,認證過程中投入的資金和時間成本,對多數小型企業來說是難以承受的。

表2 全國薄膜晶體管液晶顯示面板行業靶材年需求量(估算值)

5、結論

(1)TFT-LCD是當今主流的平面顯示技術，大約占80%以上的顯示面板市場份額。

(2)用于制作薄膜晶體管液晶顯示面板的金屬靶材，包括以鋁靶、銅靶、鉬靶、鉬鈮合金、鈦靶、鉭靶、鈮靶、鉻靶以及銀靶等，其中以鋁靶、銅靶、鉬靶和鉬鈮合金靶為主。

(3)鋁靶材市場主要被日資企業愛發科和住友化學占據，國產化方面的龍頭企業是江豐電子;

(4)銅靶材的市場需求規模大且呈上升趨勢，日資企業愛發科幾乎壟斷著國內銅靶材市場，國產化方面，江豐電子即將量產，有研新材具備高純銅原料生產能力,但沒有液晶顯示行業用的條形靶材生產線，洛銅集團具備高純銅生產能力但價格與進口相比無明顯優勢，且沒有靶材生產線。

(5)鉬靶材具體分為條靶、寬靶和管靶3種，其中，條靶方面，國內的洛陽四豐已占據主導優勢，洛陽高科次之;寬靶方面,基本被攀石、世泰科外企壟斷，但洛陽四豐、西安格美以及阿石創等正在積極進軍該市場;管靶的主要特點是材料利用率高，但需要通過濺射設備廠家認證且要在銷售過程中長期收取管理費，其市場份額小，發展空間有限。

(6)鉬鈮合金靶的加工難度極大，產品附加值較高,市場需求前景也比較好。但目前主要為日立和世泰科等外企壟斷,但國內西部材料已與日本愛發科合作，成功軋制出了氧含量小于1000x10^-6，致密度達99.3%,各項性能達到國際領先水平的鉬鈮合金靶坯。

(7)8.5代液晶顯示面板生產線所使用的1套靶材包含12塊條靶，每塊條靶的尺寸約為:2650 mmx210mmx18mm,1條8.5代線對靶材的消耗量,鋁靶約為39x103kg/年,銅靶約為119x10³ kg/年,鉬靶約為74x10³kg/年,鉬鈮合金靶約為6 x10³kg/年。

(8)液晶面板生產企業對濺射靶材的認證程序比較復雜，認證周期比較漫長，因此，作為新進入的企業,必須承受較大的資金壓力和時間成本。

參考文獻

[1]劉曉偉，田明，李梁梁，等.大尺寸薄膜晶體管液晶顯示器的一種條狀顯示不均的分析和改善研究[J].液晶與顯示,2016,31(11):1033-1037

[2]段樹銘，任曉辰，張小濤，等.絲網印刷柔性電子器件[J].化學進展，2018,30(04):429-438

[3]賈國斌,馮寅楠,賈英,等.磁控濺射用難熔金屬靶材制作、應用與發展[J].金屬功能材料,2016,23(06):48-52

[4]焦俊娟,張勝良,陸靜文,等.重慶京東方8.5代線項目快速精密施工測量技術研究[J].測繪通報,2016,S2:144-145+166

（注，原文標題：平板顯示行業用金屬濺射靶材的市場需求分析）

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