1、應用背景半導體芯片行業是金屬濺射靶材的主要應用領域之一，也是對靶材的成分、組織和性能要求最高的領域。具體地，半導體芯片的制作過程可分為硅片制造、晶圓制造和芯片封...

近年來，微電子行業和新材料發展迅猛，各種性被廣泛應用于高新技術和工業領域，促使了靶材產業日益擴大。如今，靶材已發展成為一個專業化產業。濺射法是制備薄膜材料的主要技術之一...

引言隨著大規模集成電路和半導體芯片制造技術的飛速發展，集成電路單位面積上可容納的晶體管數量成倍增加，芯片制程不斷縮小。在電路變得更窄的同時，電流密度將更大，半導體芯片中...

引言隨著全球科技的革新突破和人口數量的指數增長,傳統陸地資源供給體系已逼近承載閾值?；谫Y源戰略安全與可持續發展的考量，海洋資源開發已成為緩解資源供需矛盾的關鍵路...

TC4鈦合金以其優異的綜合性能在航空航天、生物醫療等領域應用廣泛[1~3]。然而，其傳統加工(如鍛造、切削)存在難度大、成本高等問題。而增材制造技術為鈦合金的成形提供了新途...

序言鈦及鈦合金因其低密度、高比強度與比剛度、良好的耐腐蝕性能、優異的低溫韌性、抗疲勞與蠕變能力，以及無毒、無磁等一系列綜合優勢，自20世紀中期起，逐漸成為航空工業中不可...

引言隨著全球安全戰略的發展，高聲速飛行器已成為軍事競爭的焦點 [1-2]?高聲速飛行器在未來軍事和民用領域具有廣闊的應用前景，包括快速全球打擊?航天飛機?空間運輸系統等?這些飛行...

引言隨著全球安全戰略的發展，高聲速飛行器已成為軍事競爭的焦點 [1-2]?高聲速飛行器在未來軍事和民用領域具有廣闊的應用前景，包括快速全球打擊?航天飛機?空間運輸系統等?這些飛行...

引言2015 年，美國航空航天局 (NASA) 發布了《2015 航空航天技術路線圖》, 該文件探討了美國 2015-2035 年航空航天發展所需的關鍵技術及實施路徑，其中，重點提到發射與推進系統，...

鈦合金具有高強度?低密度?耐腐蝕及良好的疲勞性能等綜合優異性能，已被廣泛應用于航空航天等高端裝備?例如，在美國 F–22 第四代主力戰機中，鈦合金的質量占比為 41%[1–3]?Ti–6Al–...

鋁及鋁合金因其優異的比強度、導熱性和可加工性能，被廣泛應用于航空航天、電子通信及國防工業等領域[1-2]。此外，鋁合金的輕量化特性使其成為航天產品的微波器件殼體制造理想...

1、引言鎳因其優異的機械強度、良好的延展性、高熔點、耐高溫特性以及出色的化學穩定性，在多個領域中得到廣泛應用。在軍工制造業中，鎳被用于飛機、雷達、導彈等關鍵設備的制...

在現代工業中，銅合金應用廣泛。鉻鋯銅合金由于導電導熱性能良好，具有高的強度和好的耐磨性,可作為電阻焊電極和結晶器等材料。在汽車、機車、造船、電力及航空等行業得到廣泛...

引言第二代高溫超導帶材為多層薄膜結構，由哈氏合金基帶、種子層、隔離層、帽子層(模板層)、超導層和保護層組成。目前已知的較為成熟的制備稀土鋇銅氧化物(ReBCO)帶材的方法...

鈦及鈦合金具有低熱導率、低膨脹系數、高韌性以及耐低溫等優點，在低溫發動機、低溫超導零部件、海洋工程、 航空發動機等領域均有大量應用[1-2]。TC11鈦合金作為一種十分典型...

薄膜晶體管液晶顯示面板(TFT-LCD)是當前的主流平面顯示技術，而金屬濺射靶材是制造TFT-LCD過程中最關鍵的材料之一。薄膜晶體管陣列的制作原理，是在真空條件下，利用離子束流去轟...

濺射是一種薄膜材料制備技術，主要利用高能離子在真空中加速聚集形成高能離子束流轟擊固體，使固體表面原子逸出、沉積在基底表面，制成的膜材料稱作濺射靶材[1-2]。濺射技術源于1...

引言磁控濺射靶材(簡稱濺射靶材)是物理氣相沉積(PVD)技術應用中的關鍵源材料，通過荷能粒子轟擊濺射靶材，可使靶材表面原子或分子逸出并在基片表面沉積形成功能性薄膜。高端濺...

引言半導體芯片制造用金屬靶材主要用于在基底材料表面沉積金屬薄膜。在大規模集成電路互連工藝中，高純銅材料因其低電阻率、優異的導熱性能及良好的抗電遷移和抗應力遷移特性...

引言航空發動機壓氣機葉片性能直接影響發動機整體可靠性。鈦合金憑借比強度高、耐腐蝕性強、熱穩定性好等特點成為理想葉片材料。由于發動機向大推重比、長壽命方向發展，對葉...

引言激光誘導擊穿光譜(LIBS)技術，作為近年來備受矚目的元素分析方法，即將短脈沖激光聚焦于樣品表面，以實現樣品材料表面擊穿和等離子體生成。通過捕獲等離子體的輻射光譜，基于一...

引言高溫機械強度是指材料在高溫環境下承受外力作用時，保持其結構完整性和功能穩定性的能力，是保障高溫裝備長期安全運行的科學基石，目前亦已成為機械強度學的重要分支。作為貫...

粒子加速器是人類探索微觀物質結構的重要工具，也是支撐國民經濟與科技發展的關鍵設施[1,2].相較于體型龐大、成本高昂的傳統加速器，超短超強激光與物質相互作用能夠產生超過10...

引言鈦合金材料具有比強度高、耐高溫、耐腐蝕等特點，被廣泛應用于航空航天、軍工及醫療器械等行業[1],但由于鈦合金的熱導率低、彈性模量小等特點，導致鈦合金成為典型難加工材...

引言非對稱外雙溝形環件是一種外表面帶有特殊截面輪廓的異形截面環件，在航空航天、能源、汽車等領域具有廣泛應用[1-3]，如運載火箭推進劑貯箱的過渡環、發動機機匣等關鍵部件...

引言點式鍛壓激光成型工藝具有成型過程靈活、適用范圍廣、生產成本低等方面的特點，能夠有效克服鈦合金在傳統成型工藝下普遍存在的柱狀晶粗大、力學性能不足等問題。苗廣輝等...

1、引言鋁合金由于其低密度、易加工的特性，現已被廣泛應用于汽車、航空航天等領域進行輕量化設計[1-2]，但由于鋁合金的強度相對較低，其作為結構材料在一些極端服役環境下大量使...

1、引言TC11鈦合金作為一種新型輕質金屬材料,憑借著密度低、比強度高、耐蝕性出色、熱穩定性卓越以及疲勞強度高等一系列突出優勢，在航空航天、軌道交通、船舶工業乃至醫療等...

作為一種α+β相耐熱鈦合金，鈦合金TC11具有高強度、超強耐腐蝕性、優異的抗蠕變性和較好的熱穩定性，被廣泛應用于航空發動機渦輪盤、葉片等重要構件。在鈦合金切削過程中切削...

近年來，隨著科學技術不斷發展和進步，鈦及鈦合金棒絲材在航天航空?軍工?醫療等重要領域得到廣泛應用，產品要求各項性能指標滿足標準相關要求的同時，大單重盤卷絲材作為在高端領域的...